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    檢測鎢化學氣相淀積設備異常情況的方法

    980   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:42:46
    本發明公開了一種檢測鎢化學氣相淀積設備異常情況的方法,涉及鎢化學氣相淀積的脈沖成核層工藝。包括以下步驟:對將進行鎢薄膜淀積的晶圓置于掃描工具下,得到初始微細顆粒數,在鎢化學氣相淀積設備中通入硅烷與六氟化鎢氣體進行還原反應,在晶圓表面生成鎢薄膜,將表面已經生成鎢薄膜的晶圓置于掃描工具下,對掃描工具設定信噪比和掃描精度對淀積過鎢薄膜的晶圓表面進行掃描;將被掃描出鎢薄膜表面微細顆粒數相比初始微細顆粒數增加的晶圓放入顯微鏡下觀察,判斷此微細顆粒是否氣相成核鎢微細顆粒以確定鎢化學氣相淀積設備是否出現異常。通過本發明方法可以精確地確定鎢化學氣相淀積設備是否出現異常,并且不影響工藝持續性。
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    聲明：
    “檢測鎢化學氣相淀積設備異常情況的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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