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    檢測源極多晶硅經化學機械研磨后表面異常的方法

    826   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:42:49
    一種檢測源極多晶硅經化學機械研磨后表面異常的方法，采用KT電子掃描顯微鏡對源極多晶硅經化學機械研磨后的表面進行檢測，KT電子掃描顯微鏡持續發射原生入射電子對源極多晶硅表面進行掃描，源極多晶硅表面的價電子被激發，形成二次電子，然后KT電子掃描顯微鏡偵測源極多晶硅表面被激發出的二次電子并成像，異常表面的成像亮度大于正常表面的成像亮度。本發明能夠簡單有效地檢測到源極多晶硅的表面異常，降低了晶片受損的可能性。
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