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    非破壞性定量檢測砷化鎵單晶化學配比的方法

    981   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:48
    非破壞性定量檢測砷化鎵單晶化學配比的方法; 利 用X射線雙晶衍射儀測量半絕緣砷化鎵單晶片的晶格常數am; 采用實時儀器校正X射線雙晶衍射儀產生的誤差, 以高純(11個″9″)、無位錯硅單晶片為標準樣品, 每次測量晶格常數后, 測量標準樣品的晶格常數, 計算儀器誤差 : Δa’=a’－a’0其中, a’0=5.431058A為硅單晶的標準晶格常數; 按下式消除儀器的測量誤差, 得到準確的單晶晶格常數 : a=am－Δa’, am為半絕緣砷化鎵單晶晶格常數的測量值。
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