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    用于化學機械拋光工藝終點檢測的離線調試系統及方法

    896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:48
    本發明公開了一種用于化學機械拋光工藝終點檢測的離線調試系統及方法，該系統包括：數據讀取模塊，用于讀取預先存儲的電機功率數據，其中，電機功率數據為化學機械拋光設備拋光晶圓過程中拋光盤電機驅動器的電機功率信號；調試模塊，用于根據電機功率數據確定終點捕捉窗口的參數值。該實施例的系統及方法可使工藝人員線下模擬終點檢測過程，并有效調節運動窗口參數，進而在方便參數調試的同時，降低生產成本并提高生產效率。
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    聲明：
    “用于化學機械拋光工藝終點檢測的離線調試系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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