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    玻璃化學蝕刻速率在線檢測裝置和方法

    862   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:48
    本發明提供一種玻璃化學蝕刻速率在線檢測裝置及方法，通過夾持工具夾將待蝕刻玻璃以及與預減薄厚度相同的蝕刻試片放入化學蝕刻溶液里；激光發生器及傳感器發射激光到蝕刻試片上，激光的反射傳感信號傳遞到信號處理單元；當信號處理單元接收不到激光發生器及傳感器激光反射信號時，立刻將夾持在玻璃夾持工具上的待蝕刻玻璃從化學蝕刻液中取出，放入清水中清洗，完成化學蝕刻操作，記錄蝕刻時間T′,蝕刻速率V′＝D/T′。本裝置和方法結構簡單，靈活性高，精度高，能實時在線動態測量玻璃化學蝕刻速率。
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