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    具有清晰端點檢測窗的化學機械拋光墊

    1089   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:50
    提供一種化學機械拋光墊，其含有具有拋光表面的拋光層；和端點檢測窗；其中所述端點檢測窗包含包括以下的成分的反應產物：具有5.5到9.5重量％的未反應的NCO基團的異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預聚物，其中所述異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預聚物是包含以下的成分的反應產物：脂肪族多官能異氰酸酯；和預聚物多元醇；和固化劑系統，其包含：0到99重量％的雙官能固化劑；和1到100重量％的胺起始的多元醇固化劑，其每分子具有至少一個氮原子并且每分子具有平均至少三個羥基。還提供制造和使用所述化學機械拋光墊的方法。
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    “具有清晰端點檢測窗的化學機械拋光墊” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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