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    亞常壓化學氣相沉積法設備氣化閥堵塞的檢測方法

    1173   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:52
    本發明公開了一種亞常壓化學氣相沉積法設備氣化閥堵塞的檢測方法，包括如下步驟：1)記錄腔體基準壓力；2)設定載氣流量為固定值，設定腔體壓力為固定值，待載氣流量穩定后，記錄節流閥的位置A；3)將節流閥所開的位置設定在位置A上，保持載氣流量為設定的固定值，腔體壓力須在設定的固定值附近；4)分別流入TEOS液體流量，并記錄腔體壓力；5)計算各TEOS流量下腔體壓力和腔體基準壓力的差值；6)繪制TEOS流量和腔體壓差的變化示意圖，正常的TEOS流量和腔體壓差變化為一條直線，由此判斷不正常情況下的氣化閥堵塞。本發明通過TEOS流量和腔體壓力差的線性關系來檢測氣化閥的狀況，可更高效及時地發現氣化閥堵塞問題。
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    聲明：
    “亞常壓化學氣相沉積法設備氣化閥堵塞的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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