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    滑片檢測裝置和化學機械拋光系統

    1208   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:45:13
    本發明公開了一種滑片檢測裝置和化學機械拋光系統，所述滑片檢測裝置包括激光發射器、光纖接收器和控制器；所述激光發射器和光纖接收器設置于V形支架，所述V形支架朝向拋光墊設置，所述激光發射器朝向拋光墊發射激光，光纖接收器接收反射的激光并將其轉化為電信號；所述控制器根據光纖接收器的電信號判定是否有晶圓自承載頭滑出；所述激光發射器和光纖接收器相對于拋光墊傾斜設置，使得附著于其上的液滴滑落而不封堵激光發射和/或接收的路徑。
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    “滑片檢測裝置和化學機械拋光系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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