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    利用化學腐蝕和化學鍍的雙參數測量光纖光柵傳感器

    684   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:45:17
    一種利用化學腐蝕和化學鍍的雙參數測量光纖光柵傳感器，適用于光纖傳感。其特征在于：該傳感器是由相位掩膜法制成的光纖布拉格光柵，它被均勻分成兩部分，光纖布拉格光柵的左半部分（1）被氫氟酸溶液腐蝕直徑變細，并在左半部分上鍍上一層金屬（2），光纖布拉格光柵的右半部分（3）保持不變。該傳感器的制作步驟為：采用相位掩模板法制作光纖布拉格光柵；將布拉格光柵左半部分放入氫氟酸溶液中腐蝕；在腐蝕后的光纖布拉格光柵表面吸附一層易氧化物質；在腐蝕后的光纖布拉格光柵表面生成一層薄金屬層；對腐蝕后的光纖布拉格光柵進行化學鍍金屬。該傳感器結構簡單，容易制作；溫度和應力傳感靈敏度得到了提升；可以實現雙參數的同時測量。
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