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    基于MEMS技術的電化學地震檢波器

    782   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:45:17
    本發明公開了一種基于MEMS技術的電化學地震檢波器，涉及地震檢波技術，能夠檢測微弱地震波，是一個層狀疊加結構的敏感單元密封在一個盛滿電解質溶液的腔體里，敏感單元的每一層包括正面的兩對共面叉指形排列的電極和背面的溝槽形絕緣流道。當地震檢波器受到地震波的振動時，相當于受到一個加速度的作用，溶液內部將產生壓力梯度，改變了溶液的離子濃度分布和速度場，影響電極處的電化學反應速率，從而使電極電流發生改變。通過測量電極電流的變化，就可以實現對地震波的檢測。傳感器采用層狀和共面叉指電極的結構，提高了地震檢波器的靈敏度，電極一致性好，便于調節電極寬度和間距。
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    聲明：
    “基于MEMS技術的電化學地震檢波器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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