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    化學氣相多元沉積產物組分預測方法

    1070   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:46:31
    本發明公開了一種化學氣相多元沉積產物組分預測方法，包括：步驟S1，根據工藝條件，計算配分函數：步驟S2，計算熱熔和熵；步驟S3，根據平動、轉動、振動及電子配分函數，計算標準生成焓和標準生成吉布斯自由能；步驟S4，根據化學平衡原理，即體系總吉布斯自由能最小的數學條件，獲得所有產物的平衡產量分布；步驟S5，工藝條件、沉積固相和產率作為輸入數據，利用BP算法建立訓練模型。步驟S6，建立BP訓練模型后，結合遺傳算法，對計算出的結果進行分析，不斷搜索出不同權重條件下的最高固相產量。本發明的優點是：建立可準確預測沉積理論產物組分的模型，實現多組分產量最大的優化目標，加快CVD工業生產研發效率和降低其生產成本。
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    聲明：
    “化學氣相多元沉積產物組分預測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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