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    化學機械研磨工藝模型的預測方法

    1110   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:47:31
    本發明提供了一種化學機械研磨工藝模型的預測方法，包括：從第一角以固定的步進尺寸將版圖劃分為多個第一格點，直到位于版圖邊緣的第一格點的尺寸小于或等于非邊緣的第一格點的尺寸，若邊緣第一格點的尺寸小于非邊緣第一格點的尺寸，則邊緣第一格點為非完整格點并具有長和寬；將版圖重新劃分為多個第二格點，包括：從非完整格點所在的邊和非完整格點的對邊開始劃分多個邊緣第二格點，剩余的版圖根據步進尺寸劃分為多個非邊緣第二格點；提取非邊緣第二格點的幾何信息；從邊緣第二格點所在的邊開始以步進尺寸在版圖上劃分第三格點，并提取第三格點內的幾何信息，最后將所有幾何信息引入化學機械研磨模型中進行預測，并進行熱點檢測。
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    聲明：
    “化學機械研磨工藝模型的預測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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