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    金屬膜厚測量方法和化學機械拋光設備

    814   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:47:31
    本發明公開了一種金屬膜厚測量方法和化學機械拋光設備，其中方法包括：利用電渦流傳感器測量晶圓表面的金屬薄膜的厚度，所述電渦流傳感器包括依次疊放的檢測線圈、激勵線圈和補償線圈；獲取所述電渦流傳感器的輸出電壓得到特征值，所述特征值等于輸出電壓的實部與虛部的比值，所述特征值與被測金屬膜厚呈線性關系；根據所述特征值確定被測金屬膜厚。
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    聲明：
    “金屬膜厚測量方法和化學機械拋光設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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