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    在線測量PLD薄膜化學計量比及各成分質量的裝置

    717   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:49:09
    本實用新型涉及脈沖激光沉積鍍膜領域，公開了一種在線測量PLD薄膜化學計量比及各成分質量的裝置，包括：脈沖沉積(PLD)鍍膜系統，激光誘導擊穿光譜（LIBS）測量系統，石英晶體微天平（QCM）測量系統。本實用新型基于脈沖激光沉積鍍膜技術、激光誘導擊穿光譜技術、石英晶體微天平測膜厚技術，能實時原位在線測量脈沖激光沉積鍍膜薄膜化學計量比及各成分質量，且不會對鍍膜過程有干擾，并且搭建簡單，易于操作；適用于脈沖激光沉積鍍膜領域。
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