一種等離子體化學氣相沉積法金剛石涂層的溫度測量裝置,屬于金剛石涂層技術領域。包括:陰極部分、真空室、真空泵系統、壓力測控裝置、電源、陰極桿、陰極體、陽極、直流電弧弧柱、制品架、磁場線圈。在拉長的直流電弧弧柱(9)的周圍裝置有一金屬圓環(14),金屬圓環(14)和其上焊接的異類金屬導體(15)都具有較大的熱容量;在圓周方向上,金屬圓環(14)和其上的異類導體(15)間隔90度設置,保證其對設備幾何中心的高度對稱性。本實用新型的優點在于:利用結構上高度對稱、同時又有較大的熱容量的組合式溫度測量裝置,可克服使用直流電弧等離子體化學氣相沉積裝置對大量工件進行金剛石涂層時,涂層的沉積溫度難于測量的技術難題。
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我是此專利(論文)的發明人(作者)