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    膜厚測量方法、系統及化學機械拋光裝置

    923   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:49:10
    本發明適用于化學機械拋光技術領域，提供了一種膜厚測量方法、系統及化學機械拋光裝置，其中方法包括：根據離線采集的晶圓膜厚信息以及在拋光期間使用膜厚傳感器進行動態測量時輸出的信號值，獲取輸出信號與晶圓膜厚的映射關系；并利用所述映射關系，將所述膜厚傳感器在線測量時輸出的信號值轉換為膜厚值。
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    “膜厚測量方法、系統及化學機械拋光裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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