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    常壓式化學氣相沉積機履帶速度監測報警裝置

    886   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:49:11
    本實用新型涉及一種常壓式化學氣相沉積機履帶速度監測報警裝置。它包括帶輥和控制器。所述帶輥上套有履帶。鄰近帶輥的履帶下方有底座。其特點是：底座上有輪座，輪座上有從動輪，從動輪的輪面與途徑帶輥處的履帶表面間呈滾動狀相配合。所述輪座上有測速傳感器，測速傳感器通過導線與控制器相連，控制器上連有蜂鳴器。采用這種監測報警裝置，可避免因履帶停止運行而導致的晶圓報廢情況發生。適用于常壓式化學氣相沉積機履帶速度的監測。
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