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    用于單面化學機械平坦化加工動態感知的監測裝置

    708   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:49:13
    本發明公開了一種用于單面化學機械平坦化加工動態感知的監測裝置，屬于超精密加工監測技術領域。本監測裝置安裝在單面研磨拋光機上，可實現平面光整過程中工件狀態的在線實時監測，其特征在于：包括傳感器單元：包含至少兩種傳感器采集監測信號用于聯合監測；信號調節單元：對所述采集信號幅值放大、衰減和/或頻譜過濾；數據采集單元：對所述信號調節單元處理后的模擬信號轉換成數字信號，并進行數字濾波、降噪、存儲的數據預處理；處理器單元：對所述數據采集單元預處理后的數據進行模式識別實現工件加工動態指標的可視化。本發明設計的在線實時監測裝置具有多傳感、抗干擾、高準確性、適用面廣、成本低、操作方便、智能化水平高等優點。
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    聲明：
    “用于單面化學機械平坦化加工動態感知的監測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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