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    化學機械研磨用水系分散體以及化學機械研磨方法

    931   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:54:48
    本發明的化學機械研磨用水系分散體是包含(A)二氧化硅微粒和(B1)有機酸的化學機械研磨用水系分散體,其中前述(A)二氧化硅微粒具有下述化學性質。從通過ICP發光分析法或ICP質量分析法進行的元素分析和通過離子色譜分離法進行的銨離子定量分析測定的鈉、鉀和銨離子的含量滿足:鈉含量:5～500ppm,選自鉀和銨離子的至少一種的含量:100～20000ppm的關系。
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