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    微波增強等離子體化學氣相沉積中功率-氣壓-溫度耦合方法

    837   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:55:30
    微波增強等離子體化學氣相沉積中功率-氣壓-溫度耦合方法，它涉及微波增強等離子體化學氣相沉積技術的改進方法。本發明要解決現有的MPCVD技術制備金剛石薄膜過程中，由于基體溫度、功率密度和沉積氣壓對于制備出的金剛石薄膜質量影響大的問題。本發明方法為：步驟一、實驗數據采集步驟；二、檢測試樣質量；步驟三、制備工藝參數關系擬合。本發明的方法可以提高單晶金剛石的生長質量。
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