本發明公開了一種應用于化學藥液供給系統的化學藥液溫度控制裝置,包括:用于將化學藥液加熱的加熱器;用于測量經加熱器加熱后的化學藥液的實際溫度的溫度傳感器;根據設定溫度與測量的實際溫度的溫差輸出控制信號的控制器;和根據所述控制信號控制所述加熱器加熱的功率控制器。其中,當溫差超出預定范圍時,控制器基于PI運算輸出所述控制信號;當溫差位于所述預定范圍內時,控制器根據該溫差在該預定范圍內的區段輸出與該區段相對應的定常量的所述控制信號,其中所述預定范圍內的區段為連續分布的多個。本發明能夠快速穩定地控制藥液加熱且無超調。
聲明:
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