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    檢測8英寸拋光片痕量元素的檢測方法

    1000   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:55:34
    本發明創造提供一種檢測8英寸拋光片痕量元素的檢測方法，該檢測方法首先通過化學機械拋光的方法制備8英寸拋光片；然后通過X熒光光譜儀檢測硅拋光片中的痕量元素并進行數據分析；最終得出各痕量元素的種類和含量。本發明創造具有的優點和積極效果是：采用半導體制造技術企業常用設備全反射X熒光光譜儀對8英寸拋光片痕量元素，不需要復雜的樣品前期處理過程，測定步驟簡單，高效快速，檢測結果準確度高，有著廣闊的應用前景。
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    聲明：
    “檢測8英寸拋光片痕量元素的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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