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    化學品傳感器及其形成方法

    994   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:56:05
    各種實施例涉及一種化學品傳感器?；瘜W品傳感器可包括基板，基板包括第一密封(或隔離)腔以及與第一密封(或隔離)腔分開的第二密封(或隔離)腔?；瘜W品傳感器也可包括在第一密封(或隔離)腔中的發射器，發射器配置為發射紅外光?；瘜W品傳感器還可包括在第二密封(或隔離)腔中的檢測器?；瘜W品傳感器也可包括波導，波導配置為將紅外光從發射器輸送到檢測器。波導可包括傳感部分，傳感部分配置為使通過傳感部分輸送的紅外光的特性響應于與傳感部分接觸的化學實體而改變。檢測器可配置為檢測(紅外光的)特性上的改變。
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    化學分析
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