• <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置:中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    > 化學分析技術

    > 化學氣相沉積設備及其控制方法和控制裝置

    化學氣相沉積設備及其控制方法和控制裝置

    1210   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 06:56:06
    本發明涉及一種化學氣相沉積設備及其控制方法和控制裝置,所述控制方法包括:調節所述化學氣相沉積設備的內部壓強至外界大氣壓強;檢測是否發出放料信號;根據檢測到的放料信號打開所述化學氣相沉積設備的大氣端隔離門;通過所述大氣端隔離門進行放料操作。本發明的控制方法,在打開所述化學氣相沉積設備的大氣端隔離門前會檢測是否發出放料信號,當檢測到放料信號后,打開所述大氣端隔離門,可以避免在無法進行放料操作時,由于長時間打開所述大氣端隔離門,而使得所述玻璃基板發生電性缺陷超規異常的現象。
    登錄解鎖全文
    聲明:
    “化學氣相沉積設備及其控制方法和控制裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽:
    化學分析
    全國熱門有色金屬技術推薦
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    報名參會
    更多+

    報告下載

    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股(集團)有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話:
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
  • <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>