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    大功率熱梯度化學氣相滲透工藝系統監控裝置及監控方法

    887   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:22
    本發明公開了一種大功率熱梯度化學氣相滲透工藝系統監控裝置,溫度傳感器、壓力傳感器、元件損壞檢測器、瓦斯信號檢測器以及流量計的所采集的信號傳輸給監控計算機,監控計算機同時輸出兩路信號,一路到顯示器,另一路通過D/O轉換器與驅動放大電路分別控制脈沖封鎖繼電器和中間繼電器,進而控制脈沖觸發電路和真空開關繼電器,使得整流電路停止工作或高壓開關斷開。還公開了上述裝置的監控方法,監控計算機采集溫度、壓力等信號與設定的標準值進行比較,比較結果為正常時,循環采集比較,直至沉積工藝結束;比較結果不正常時,則關斷10KV高壓電路,或者使整流電路停止工作并報警。本發明采用數據庫進行管理,實現了大功率TCVI工藝系統狀態的自動檢測。
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    聲明：
    “大功率熱梯度化學氣相滲透工藝系統監控裝置及監控方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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