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    化學機械拋光設備用拋光臺溫度控制裝置

    751   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:45
    本實用新型提供了化學機械拋光設備用拋光臺溫度控制裝置,涉及化學機械拋光設備上用的拋光臺溫度控制裝置技術領域。包括拋光臺的溫度檢測部分,與流體循環式管道相連的換熱器、泵和減壓閥,流體管道中設有溫度變送器、流量變送器和流量調節閥,拋光臺溫度檢測部分、流量變送器、溫度變送器分別通過拋光臺溫度采集模塊、管道流量采集模塊、管道溫度采集模塊和主機或其它控制設備連接,主機或其它控制設備通過流量控制器和流量調節閥連接,主機或其它控制設備通過溫度控制器和換熱器連接。采用此裝置可使拋光臺較快速穩定地達到預設溫度,控制化學反應的速度,得到均勻的拋光去除率,提高拋光質量。特別適用于半導體晶圓化學機械拋光設備上。
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