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    化學機械拋光機臺

    1155   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:46
    本實用新型公開一種化學機械拋光機臺，用于在線檢測拋光墊下方氣泡，該化學機械拋光機臺包括：基座，用于粘貼一拋光墊；調節盤，用于研磨拋光墊，所述調節盤耦合一墊高度感應裝置，以監測調節盤的高度變化，當調節盤的高度變化超過一預定值，將拋光墊從基座上剝離，再另粘貼一拋光墊。其中在線偵測拋光墊下方氣泡的方法是：將拋光墊粘貼在該基座上，進行拋光墊磨合，利用調節盤研磨拋光墊，在拋光墊磨合過程中，以墊高度感應裝置監測調節盤的高度變化，當調節盤的高度變化超過一預定值，將拋光墊從基座上剝離，再另粘貼一拋光墊，如此達到在線自動檢測拋光墊下方氣泡，以提高效率及可靠性。
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    聲明：
    “化學機械拋光機臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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