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    有機器人存取卡匣的化學機械研磨工具

    827   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:46
    一種半導體制造系統，包括：化學機械研磨系統；卡匣保持區域，卡匣保持區域由壁包圍并具有門，門可由操作員打開以將一或多個卡匣放置入卡匣保持區域；機器人，機器人經配置以在卡匣保持區域中的卡匣和化學機械研磨系統之間傳送基板；計算機控制器，計算機控制器經配置以使機器人移動到起始位置(home?position)；斷路器，斷路器在通向機器人的電源線路中；門傳感器，門傳感器用于檢測門是否打開；機器人存在傳感器，用于檢測機器人是否處于起始位置；和控制電路，控制電路經配置以從門傳感器和機器人存在傳感器接收信號，并且若門是打開的且機器人不處于起始位置，則使斷路器切斷對機器人的供電。
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    聲明：
    “有機器人存取卡匣的化學機械研磨工具” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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