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    檢測層間粘附力的方法及檢測試片的制作方法

    1066   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:46
    本發明提供了基于四點彎曲法的檢測層間粘附力的方法及用于制作檢測試片的方法，該檢測方法包括：提供待檢測試片，待檢測試片上依次形成有第一介質膜和第二介質膜；在第二介質膜上形成第一溝槽，直至第一介質膜的表面；在第一溝槽內填充金屬，并通過化學機械平坦化使金屬的表面與第二介質膜齊平；在第二介質膜上生長氧化物膜，并在氧化物膜上與第一溝槽對應的位置形成第二溝槽，且第二溝槽的深度小于等于所述氧化物膜的厚度；將氧化物膜與襯底粘合，并在襯底上與第一溝槽及第二溝槽對應的位置形成開槽，以形成檢測試片；利用四點彎曲法檢測所述第一介質膜與第二介質膜之間的粘附力。
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    “檢測層間粘附力的方法及檢測試片的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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