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    半導體清洗設備化學藥液加熱器

    906   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:57:48
    本實用新型公開一種半導體清洗設備化學藥液加熱器，包括由內層管和外層管組成的加熱管，安裝在內層管中的加熱絲，用于密封加熱管的密封塞，以及穿過密封塞與加熱絲相連的電源線，還包括控制器電源、控制器、報警器以及用于檢測加熱管是否破裂的傳感器，所述報警器、傳感器、控制器電源均與控制器相連。本實用新型能夠實時監測加熱管是否破損，從而及時將加熱管從化學藥液池中取出，進而保護化學藥液和清洗設備。
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    聲明：
    “半導體清洗設備化學藥液加熱器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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