本發明公開了一種化學機械拋光傳輸機器人的遞歸優化控制系統,包括:上位機控制器、主控制器、運動控制器、檢測器、多個伺服驅動器、多個電機和編碼器,其中,檢測器用于檢測傳輸機器人的工作狀態參數以生成檢測信息;上位機控制器用于接收用戶輸入的操作指令;編碼器用于檢測傳輸機器人的當前運動位移和當前運動角度;主控制器用于根據操作指令和運動控制器發送的檢測信息生成傳輸機器人的運動指令,運動控制器用于以遞歸LQ優化控制模式計算電機控制量;多個伺服驅動器,每個伺服驅動器用于根據相應的電機控制量計算相應電機的控制轉矩;多個電機,每個電機用于在相應的控制轉矩的控制下驅動傳輸機器人運動。
聲明:
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