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    用于化學機械研磨系統的平臺

    787   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:58:11
    本公開實施例提供一種用于化學機械研磨系統的平臺。上述平臺包括在平臺之中的一或多個凹部，以安置用于研磨/平坦化工藝的各種構件。平臺包括第一凹部以及第二凹部。第一凹部位于第二凹部之下。終點檢測器放置在第一凹部中，且檢測器蓋可被放置在第二凹部中。密封裝置被提供在終點檢測器與檢測器蓋之間的空間，以防止任何外部或外來的材料接觸終點檢測器。拴件被用以將檢測器蓋拴至平臺，也提供附加的防護以防止外來的材料接觸被容納在凹部的構件。
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    “用于化學機械研磨系統的平臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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