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    化學機械拋光傳輸機器人晶圓抓取自適應控制方法及裝置

    1014   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:58:59
    本發明提出一種化學機械拋光傳輸機器人晶圓抓取自適應控制方法，包括以下步驟：紅外傳感器檢測工位上的晶圓位置，獲得工位上的晶圓位置值并存儲；對存儲的工位上的晶圓位置進行修正補償，獲得第一位置值；將第一位置值與上次的工位上的晶圓位置值進行相加，獲得工位上的晶圓位置的準確值，即第二位置值；紅外傳感器將第二位置值作為輸入值，傳輸給I/O板；I/O板再將輸入值送到主控器，執行抓取晶圓，并將輸入值存儲。本方法實現實時化學拋光傳輸機器人的機械手對工位上的晶圓抓取的自適應能力，且具有高效性，精確性與適用性。本發明還公開了一種化學機械拋光傳輸機器人晶圓抓取自適應控制裝置。
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    化學分析
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