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    化學沉積爐加熱系統

    717   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:59:02
    本實用新型屬于化工工藝生產設備領域，公開了一種化學沉積爐加熱系統，加熱系統包括設置在爐體的上層內周與沉積室之間的上加熱器層、設置在爐體的下層內周與坩堝之間的下加熱器層、控制上加熱器層和下加熱器層的PLC系統，上加熱器層包括上獨立加熱器，每個上獨立加熱器與沉積室一一相對設置，下加熱器層包括下獨立加熱器，每個下獨立加熱器與坩堝一一相對設置，每個沉積室和坩堝旁邊均設有熱電偶組件；每個上獨立加熱器和下獨立加熱器均對應連接有一個變壓器，熱電偶組件和變壓器均連接PLC系統。本實用新型解決了硒化鋅生產過程中化學沉積爐無法進行獨立區域控溫的問題，在化學沉積爐內實現精準獨立檢測溫度和控制溫度精準升降。
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    聲明：
    “化學沉積爐加熱系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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