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    具有金屬熔體蒸發量自動調節裝置的化學氣相沉積設備

    889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:44
    本發明公開了具有金屬熔體蒸發量自動調節裝置的化學氣相沉積設備，包括反應爐以及導通連接于反應爐上部的真空泵構件；反應爐內包括底部的坩堝件，坩堝件的上部配置有反應室，坩堝件開設有金屬蒸汽通孔；還包括用于引入反應氣體的氣體噴嘴，氣體噴嘴沿反應爐的外部深入至反應室，坩堝件配置有加熱組件，加熱組件用于加熱坩堝件內的溫度，坩堝件還配置有檢測組件和控制柜；控制柜根據檢測組件的信號控制加熱組件作業。本發明通過解決蒸發量精確控制的問題，自動進行實時精確控制，從而獲得期望的高質量產品，并且實現控制反應氣體損失最小化的目的，同時，附帶地減少了尾氣處理裝置的負荷，具有較好的實用意義。
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    “具有金屬熔體蒸發量自動調節裝置的化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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