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    常壓化學氣相淀積設備的履帶軌跡自動調整裝置

    1081   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:44
    本實用新型涉及一種常壓化學氣相淀積設備的履帶軌跡自動調整裝置，設置在工藝腔室出口位置的履帶下方，所述的履帶軌跡自動調整裝置包括對稱設置在履帶兩側的步進電機，以及設置在履帶下方的調整軸，所述調整軸下方設有傳感器；所訴履帶軌跡自動調整裝置還包括有控制器，所述控制器分別與步進電機和傳感器電氣連接,由此構成履帶自動調整裝置。本裝置在出口位置對履帶位置進行檢測，如傳感器檢測到履帶偏離則反饋給控制器，控制器通過調整器對履帶位置調整，直到位置正常。
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