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    電漿輔助化學氣相沉積設備

    1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:45
    本實用新型公開了一種電漿輔助化學氣相沉積設備，包括外腔，所述外腔內部設有內腔，所述內腔頂部固定連接有電漿板，所述內腔底部設有基板且基板底部通過電動伸縮桿與內腔連接，所述外腔表面設有氣壓測量儀和報警器且氣壓測量儀位于報警器一側，所述氣壓測量儀與報警器電信連接，所述外腔表面下部設有角度測量儀。本實用新型通過調節基板底部兩側的電動伸縮桿的長短，可對基板的角度改變，方便將基板表面的物質更好的粘接在電漿板表面，避免物體浪費，氣壓測量儀能對內腔中的氣壓檢測，當內腔中的氣壓過高時，報警器會發出聲音，方便及時連接，避免內腔中因氣壓過大導致爆炸，保證設備使用的安全性。
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    聲明：
    “電漿輔助化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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