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    基于MEMS的電化學氣體傳感器及其制備方法

    1092   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:45
    本發明屬于氣體傳感器技術領域，具體涉及一種基于MEMS的電化學氣體傳感器及其制備方法。本發明采用硅片作為基底材料，根據待測氣體種類在硅片上濺射相應的金屬作為對電極和參比電極。在玻璃片上濺射一層金屬用作工作電極，然后利用干法刻蝕的方法在玻璃上刻蝕出進電解液口、出電解液口和進氣口陣列，進氣口采用陣列的方法不但能夠提高氣體傳感器的靈敏度還能夠使傳感器具有更低的檢測下限。而且本發明所使用的工藝成熟、制得的器件體積小、集成度高、可兼容傳統IC生產工藝、適用于大批量生產，可根據待測氣體種類來選擇電極的敏感材料，從而實現多種氣體傳感器的定制，因此具有廣泛的應用價值。
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    聲明：
    “基于MEMS的電化學氣體傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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