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    化學氣相沉積設備進出水監控裝置

    1018   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:46
    本實用新型是化學氣相沉積設備進出水監控裝置，其結構是主進水管和主出水管上端分別由底板下方穿過底板延伸至上方，主進水管上端連通進水支管的一端，主出水管上端連通出水支管的一端，靠近進水支管另一端的進水支管上設有球閥，靠近出水支管另一端的出水支管上設有SMC流量控制裝置。本實用新型的優點：為每個工藝腔單獨的出水管分別配備SMC流量控制裝置，實現了對每個工藝腔內冷卻水出水的壓力、溫度、流量等的精密實時可視化監控，實現更好的數據采集和分析，提高產品良率；為每個工藝腔單獨的進水管分別配備球閥，實現了對每個工藝腔內冷卻水進水的單獨開閉，方便單獨保養工藝腔或處理冷卻水問題，節約了耗時和人力。
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    “化學氣相沉積設備進出水監控裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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