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    研磨墊修整器及化學機械研磨裝置

    797   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:46
    本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種研磨墊修整器及化學機械研磨裝置。所述研磨墊修整器，包括修整頭，所述修整頭中安裝有相互連接的傳感器和控制器，所述傳感器用于檢測所述修整頭與研磨頭之間的距離并傳輸至所述控制器；所述控制器中存儲有一預設距離，用于在所述修整頭與所述研磨頭之間的距離小于所述預設距離時，改變所述修整頭的運動狀態，以避免所述修整頭與所述研磨頭發生碰撞。本實用新型有效的防止了修整頭與研磨頭發生碰撞，避免了因碰撞導致的異物掉落對晶圓的損傷。
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    “研磨墊修整器及化學機械研磨裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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