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    延長化學機械拋光墊修整器的使用壽命的方法

    1029   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:47
    本發明提供一種延長一化學機械拋光墊修整器的使用壽命的方法,包括利用所述的修整器修整所述的化學機械拋光墊;憑借測量所述的拋光墊、修整器或其組合的機械性質而測定超研磨顆粒的磨損;憑借改變所述的拋光墊和修整器之間與超研磨顆粒的磨損有關的壓力和機體轉速而適應該機械性質測量值,以延長修整器壽命。另外,一方法可包括以所述的修整器修整所述的化學機械拋光墊;以一實質上平行于所述的拋光墊的工作表面的方向振動選自于拋光墊、修整器、晶圓或其組合的元件;以及當修整器在使用時以非線性的方式隨著時間改變所述的拋光墊和修整器之間的壓力和/或機體轉速,以延長修整器壽命,其中當化學機械拋光墊表面出現磨損,所述的壓力和RPM是增加的。
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    聲明：
    “延長化學機械拋光墊修整器的使用壽命的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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