本實用新型公開了一種供應化學品定容器的配比裝置,該裝置主要包括骨架、操控面板、化學研磨液混合供應裝置、化學品定容器、壓力監測表、液位傳感器、排氣裝置及相關控制閥。操控面板用于控制整個設備系統自動化運作;化學研磨液混合供應裝置是用于生產中研磨液配比及供應儲存使用;化學品定容器的材質為聚四氟乙烯(PFA)具有耐腐蝕、耐壓的特性,主要用于化學品中轉儲存和定容定量,然后再經氮氣驅動化學品供應到化學研磨液混合供應裝置中混合配比;壓力監測表用于氮氣輸入和化學品定容器的壓力監測,本實用新型解決了化學研磨液的調配過程中化學品注入容量不精確,流速不穩定的問題。
聲明:
“供應化學品定容器的配比裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)