本發明公開了一種高純化學品連續穩定輸送系統,包括貯存罐、緩沖罐和推送系統,所述推送系統包括第一推送系統和第二推送系統,所述第一推送系統和第二推送系統均與輸送總管連通,所述第一推送系統用于將貯存罐內的高純化學品推送至緩沖罐內,此為填充過程;所述第二推送系統用于將緩沖罐內的高純化學品推送至使用機臺,第一推送系統和第二推送系統上分別獨立設置有第一調壓閥和第二調壓閥,所述第二推送系統上還設有壓力傳感器和壓力監測計。本發明高純化學品連續穩定輸送系統結構布置合理,成本低,且有效實現了緩沖罐內的填充壓力與供應壓力的獨立穩定可調,有效保證了高純化學品的連續穩定供應。
聲明:
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