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    用于在化學機械拋光中控制晶片溫度的設備及方法

    1149   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:52
    在化學機械拋光操作中用以控制晶片溫度的設備與方法。一晶片承載器(66)具有一晶片安裝表面,用以將晶片定位在相鄰于熱能轉移單元(64)之處,以轉移相關于晶片(52)的能量。一熱能探測器(54)的定位相鄰于晶片安裝表面,以探測晶片(52)的溫度。一控制器(60)響應該探測器(54),以控制供應至熱能轉移單元(64)的熱能。實施例則包括界定晶片的獨立區域,為每個獨立區域提供熱能轉移單元(64)的獨立區塊以及獨立地探測每個獨立區域的溫度,以獨立地控制對于與獨立區域相關的熱能轉移單元(64)的熱能供應。
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