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    化學機械研磨工藝的模擬裝置

    693   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:52
    本發明提供了一種化學機械研磨工藝的模擬裝置的建立，包括：第一步驟：根據工藝平臺下的設計規則，設計線寬對數?密度矩陣表格，包括線寬對數/密度的取值范圍以及線寬對數/密度坐標序列的步徑選??；第二步驟：根據線寬對數?密度矩陣表格中表格交點對應的線寬和密度，設計一系列測試圖形；第三步驟：收集各測試圖形的化學機械研磨結果數據，直接賦值給對應的各表格交點；第四步驟：基于線性插值的數學方法，對所述線寬對數?密度矩陣表格中剩余的空白表格交點進行化學機械研磨結果計算并賦值；第五步驟：優化所述線寬對數?密度矩陣表格交點，保存得到最終模擬裝置。
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    聲明：
    “化學機械研磨工藝的模擬裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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