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    用于化學機械研磨工藝的保持環、研磨頭及研磨裝置

    864   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:53
    本申請實施例提供一種用于化學機械研磨工藝的保持環、研磨頭及研磨裝置。所述保持環上開設有多個溝槽，所述溝槽貫穿所述保持環的內、外側壁；在所述保持環的外側壁上設置有用于監測所述溝槽深度的刻線。本申請實施例提供的用于化學機械研磨工藝的保持環，在保持環的外側壁上設置有刻線，用于監測所述溝槽深度，以便于在研磨進行過程中，實時監測溝槽深度是否滿足研磨工藝的需求，以便及時更換保持環，提高化學機械研磨的效率和研磨效果。
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    “用于化學機械研磨工藝的保持環、研磨頭及研磨裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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