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    化學機械拋光裝置及其方法

    1112   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:53
    本發明涉及化學機械拋光裝置及其方法，該裝置包括：拋光頭，以使晶片位于下側的狀態對晶片加壓并使其旋轉；墊高測定部，在化學機械拋光工序過程中，獲取拋光墊的半徑方向上的高度偏差；調節器，具有臂部和調節盤，臂部以鉸鏈軸為中心旋回旋轉規定角度，調節盤將拋光墊壓向臂部的下側并進行旋轉；控制部，在第二位置上以第二旋回速度對臂部的旋回速度進行調節，第二位置上的拋光墊的高度高于第一位置上的高度，第二旋回速度小于第一旋回速度，由此，通過調節調節盤的旋回速度，能夠緩和在拋光墊的不同位置上的高度偏差，因此，即便相同的施壓力作用于晶片，根據拋光墊的高度偏差，摩擦力不同，從而能夠按各區域調節晶片的每小時的拋光量。
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    聲明：
    “化學機械拋光裝置及其方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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