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    氣體處理系統及化學氣相沉積設備

    907   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:13
    本發明提供一種氣體處理系統及化學氣相沉積設備，屬于微電子技術領域，其可解決現有的氣體處理系統的能源浪費的問題。本發明的氣體處理系統，其包括：用于從反應腔室中抽取氣體的抽氣裝置、用于對從反應腔室中抽取的氣體進行處理的氣體處理裝置，所述氣體處理系統還包括：氣體監測裝置，所述反應腔室與抽氣裝置，抽氣裝置與氣體處理裝置均通過第一管道連接；所述氣體監測裝置與第一管道氣路連接，用于將氣體電離，并俘獲電離產生的離子而產生電流；所述氣體監測裝置與氣體處理裝置電連接，用于控制氣體處理裝置工作。本發明的氣體處理系統可用于化學氣相沉積設備，干法刻蝕工藝設備等基板處理工藝的設備中。
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