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    金屬有機化學氣相沉積裝置及使用該裝置的方法

    941   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:14
    一種金屬有機化學氣相沉積方法及裝置，實現長金屬管件內表面薄膜沉積，有利于降低金屬管件內表面鍍膜成本。用于金屬管件(5)加熱用的電控系統和溫控系統；與金屬管件(5)兩端相連接的導電夾具(3)；在金屬管件上包有保溫層(4)；與金屬管件(5)一端相連的金屬有機源導入通路；溫控系統連接該端的金屬管件(5)所連接的有機源揮發室(8)的溫度測試的外表面熱電偶(11)；與金屬管件(5)另一端相連接的由機械泵(1)、真空計(2)構成的真空抽氣系統；用于金屬管件腔體真空保持的管件兩端絕緣密封件(6)；在機械泵(1)抽真空時，在金屬管件(5)腔體內形成真空狀態；溫控系統連接該端的金屬管件(5)所連接的溫度測試的外表面熱電偶(12)。
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