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    便于調節化學機械拋光裝置

    882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:16
    本實用新型公開一種便于調節化學機械拋光裝置，包括底盤，所述底盤底端的外側壁上開設有環型槽，所述環型槽的內部滑動連接有固定環，本實用新型所達到的有益效果是：本實用新型通過設置復位機構、卡位機構、防護結構和增壓機構，針對不同晶圓表面進行拋光需要調節底盤與拋光頭之間的壓力時，能夠調節氣囊的膨脹程度，調節壓覆在底盤上的拋光頭與底盤之間的壓力，能夠調節底盤的上表面與晶圓之間的而壓力，避免在對不同晶圓進行拋光時影響對晶圓的表面的拋光效果，通過設置卡位機構、復位機構和防護機構，在需要對底盤進行檢修或者更換時，進行拆卸的操作簡單，更換結束后，進行安裝的操作簡單，便于對底盤進行檢修和更換，使用方便。
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    “便于調節化學機械拋光裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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